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輥棒式退火爐廠家介紹退火爐的結(jié)構(gòu)
發(fā)布時(shí)間：
2023/08/24 20:05
輥棒式退火爐廠家介紹退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響它們的電特性。熱處理是為不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以摻雜劑，將膜轉(zhuǎn)化為膜或?qū)⒛まD(zhuǎn)化為晶片襯底界面，壓實(shí)沉積膜，改變生長(zhǎng)膜的狀態(tài)，修復(fù)注入損傷，將摻雜劑從一個(gè)膜移動(dòng)或轉(zhuǎn)移到另一個(gè)膜或從膜轉(zhuǎn)移到晶片襯底。 退火爐可以整合到其他爐處理步驟中，例如氧化，或者可以單獨(dú)處理。退火爐是通過(guò)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備來(lái)完成的。退火爐是節(jié)能周期運(yùn)行爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，纖維結(jié)構(gòu)，省電60%。 輥棒式退火爐廠家表示熱處理爐分為退火爐，淬火爐，回火爐，正火爐，回火爐，主要用于大型碳鋼，合金鋼零件的退火;對(duì)表面淬火部分進(jìn)行回火處理;熱處理工藝，如焊接零件的應(yīng)力退火和老化。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)狻⑷济骸犸L(fēng)循環(huán)等。退火爐是一種新型的換熱設(shè)備。 輥棒式退火爐廠家介紹退火爐的結(jié)構(gòu): 退火爐骨架采用各類(lèi)鋼材焊接而成，外框采用槽鋼作為主梁，圍板采用冷板，臺(tái)車(chē)采用槽鋼作為主梁，底板和前后端板采用中板。 退火爐傳動(dòng)部分:小車(chē)由前端的一組驅(qū)動(dòng)輪驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)輪由電機(jī)和減速器通過(guò)鏈條驅(qū)動(dòng)。爐門(mén)的傳動(dòng)采用蝸輪減速機(jī)和電機(jī)組合進(jìn)行電動(dòng)升降。 密封:臺(tái)車(chē)與爐體之間的密封采用迷宮式結(jié)構(gòu)，臺(tái)車(chē)兩側(cè)設(shè)有自動(dòng)封砂刀密封裝置。爐門(mén)采用自動(dòng)滾壓和彈簧壓緊機(jī)構(gòu)密封。爐體采用優(yōu)質(zhì)耐火磚，保證爐子的密封性。臺(tái)車(chē)耐壓部分用高鋁磚砌筑，下部用保溫磚保溫。 退火爐燃燒系統(tǒng):油爐兩側(cè)安裝多個(gè)燃燒器，熱流在爐內(nèi)來(lái)回循環(huán)，保證爐溫均勻。可根據(jù)需要選擇自動(dòng)型和半自動(dòng)型。 廢氣預(yù)熱裝置:廢氣預(yù)熱裝置安裝在爐子的后上端。爐內(nèi)煙氣通過(guò)預(yù)熱器時(shí)，被風(fēng)機(jī)送來(lái)的冷風(fēng)預(yù)熱，然后通過(guò)管道送到燃燒器助燃。出口處裝有手動(dòng)碟閥，可以調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、采礦、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門(mén)的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過(guò)程中。
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